Vakuumsysteme. Einheitliche Steuerung.
OPKI ist ein französisches Ingenieurunternehmen für modulare Hoch- und Ultrahochvakuumsysteme in Forschung und halbleiternahen Anwendungen. Wir verbinden Probentransfer, Präparation, Lagerung und Gerätesteuerung zu einem abgestimmten Prozess.
22 Seiten · PDF · Deutsch
Die gesamte Vakuumkette im Blick
OPKI wurde 2024 gegründet und entwickelt Systeme, die Transfermodule, Andockschnittstellen und kontrollierte Vakuumumgebungen verbinden. Mechanik, dedizierte Elektronik und Steuerungssoftware entstehen im eigenen Haus. Das schafft eine Grundlage für Zuverlässigkeit, Konsistenz und langfristige Erweiterbarkeit.
Transferstangen, Vakuumkammern, Schleusen, Andockschnittstellen, Heizungen und Manipulatoren werden passend zum Labor kombiniert. Jedes Modul kann eigenständig arbeiten und zugleich Teil einer durchgängigen Architektur sein: für geräteübergreifende Probenhandhabung und präzise Positionierung.
Probentransfer und Lagerung
Motorisierte Transferstange
Ermöglicht kontrollierten, wiederholbaren und programmierbaren Probentransfer unter Vakuum.
Probenparksystem
Lagert und positioniert mehrere Probenhalter vom Typ Flag/Omicron unter Vakuum oder UHV. Manuelle und motorisierte Varianten sind verfügbar; die motorisierte Ausführung ist nativ in die OPKI-Steuerung integriert. Verbundene Module tauschen kontinuierlich Daten aus, beispielsweise zum Status des Transferkoffers und zur Probenposition.
OPKI Load Lock
Proben lassen sich einbringen oder entnehmen, ohne die UHV-Hauptkammer zu belüften. Nur die Zwischenkammer wird zum Beladen belüftet, anschließend evakuiert und dann zum Hauptsystem geöffnet.
Vakuumtransferkoffer
Geschlossenes, tragbares Gehäuse für sicheren Transport und Zwischenlagerung unter Vakuum (UHV-kompatibel) oder Inertgas. Es schützt vor Oxidation und Partikelkontamination. Optionale integrierte Präparationsmodule ermöglichen die Probenvorbereitung direkt im Koffer vor dem Transfer.
OPKI ONE: Steuerung und Automation
Ein System. Eine Oberfläche.
Führen Sie kompatible Geräte in einer Oberfläche zusammen, erstellen Sie Prozesse und überwachen Sie Ihr System über ein anpassbares Dashboard. Im manuellen Modus stehen die unterstützten Befehle integrierter Geräte zur Verfügung; Diagramme begleiten die Bedienung.
Grafischer Sequenzeditor
Erstellen Sie Ablaufdiagramme mit Action-, Wait- und Condition-Blöcken. Kombinieren Sie Geräteaktionen, definieren Sie Bedingungen mit mehreren Parametern, setzen Sie einfache Regelungen innerhalb einer Sequenz um und zeigen Sie Diagramme während des Ablaufs an.
Jeder Benutzer kann eine eigene Systemansicht mit Maschinenbild oder 2D-Darstellung gestalten. Frei platzierbare Wertkacheln zeigen Druck, Temperatur und weitere verfügbare Parameter. Laufende Sequenz, Fortschritt und gemeldete Probleme bleiben sichtbar.
Anwendungen in der Forschung
Probenpräparation, Oberflächenanalyse, Mikroskopie und Halbleiterforschung. Für Prozesse rund um PVD (physikalische Gasphasenabscheidung) und thermisches Verdampfen werden kompatible Präparations-, Transfer- und Steuerungskonfigurationen projektbezogen geprüft.
Automatisierte metallurgische Präparation
Eine mobile UHV-Plattform kombiniert Pumpen, Ionenätzen, Heizen und direkten Transfer zum Mikroskop. Sie reduziert die Variabilität und den Zeitaufwand manueller Präparation vor der mikroskopischen Analyse.
Schneller UHV-Probenwechsel
Für Analysesysteme wie XPS verkürzt eine Architektur mit zwei unabhängig gepumpten Schleusen und automatisiertem Transfer die Stillstandszeit. Das Anwendungsbeispiel der englischen Broschüre nennt etwa 20 Minuten Wechselzeit. Tatsächliche Werte hängen von System und Prozesskonfiguration ab.
Standortübergreifender Bio-Kryo-Transfer
Ein tragbarer Kryo-/UHV-Transferkoffer mit standardisierten Andockschnittstellen ermöglicht kontrollierten Transfer zwischen Instrumenten und Standorten. So werden Kontaminationsrisiken und Temperaturinstabilität reduziert.
Von der Anforderung zum System
OPKI arbeitet mit Laboren, Forschungszentren und Instrumentenherstellern zusammen. Proben, Geräteschnittstellen, Prozessschritte und Automationsanforderungen bilden die Grundlage für die individuelle Systemauslegung.
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22 Seiten · PDF · 2026 · Deutsch
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Beschreiben Sie uns Ihre Proben, vorhandenen Geräte und Prozessanforderungen. Gemeinsam bestimmen wir die passende Vakuumarchitektur, Transferschnittstellen und Steuerung.
+33 6 71 33 40 31
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