真空系统，
统一控制。
OPKI 是一家法国工程公司，为科研和半导体相关应用设计模块化高真空与超高真空系统，将样品传输、制备、存储和设备控制整合为统一的工作流程。
22 页 · PDF · 简体中文
为完整的真空链而设计
OPKI 成立于 2024 年，在内部完成系统研发，将传输模块、对接接口与受控真空环境连接起来。机械结构、专用电子系统和控制软件协同设计，以实现可靠、一致且可扩展的系统。
传输杆、真空腔室、进样室、对接接口、加热器和操纵器可根据实验室的需求组合。每个模块既可独立工作，也可构成连续的真空系统，支持跨设备的样品处理与精确定位。
传输与样品存储
电动传输杆
在真空条件下实现可控、可重复、可编程的样品传输。
样品存储系统
在真空或超高真空环境中存储并定位多个 Flag/Omicron 型样品托。提供手动与电动版本；电动版本原生接入 OPKI 控制系统。连接模块可持续交换转运箱状态和样品位置等数据。
Load Lock 真空进样室
无需将主 UHV 腔室放气，即可装入或取出样品。独立的过渡腔室在装样时放气，随后抽真空，再与主系统连通。
真空转运箱
用于样品运输和临时存储的密封便携式装置，支持真空（兼容 UHV）或惰性气氛，以防止氧化和颗粒污染。可选集成制备模块可在转移前直接在箱内进行样品制备。
OPKI ONE：控制与自动化
一个系统，一个界面
将兼容设备集中到统一界面中，创建工艺流程，控制操作，并通过可定制仪表板监测系统。手动模式可访问已集成设备支持的指令，并以曲线跟踪操作。
图形化工艺序列
使用 Action（动作）、Wait（等待）和 Condition（条件）模块构建流程图。组合多个设备的动作，定义多参数条件，在序列中实现简化调节，并在运行时绘制曲线。
每位用户可创建自己的系统视图，插入设备图片或二维示意图，自由放置数值卡片，显示压力、温度及其他可用参数，并跟踪当前序列、进度与报告的问题。
面向科研的应用
样品制备、表面分析、显微技术和半导体研究。PVD（物理气相沉积）与热蒸发相关流程可按项目需求评估兼容的制备、传输及控制配置。
冶金样品制备自动化
将抽气、离子束加工、加热与向显微镜的直接传输整合到移动式 UHV 平台，减少显微分析前人工制备造成的差异和操作时间。
快速 UHV 样品交换
对于 XPS 等分析系统，独立抽气的双进样室与自动传输架构可减少更换样品时的停机时间。原始应用示例中的交换时间约为 20 分钟，实际结果取决于系统与工艺配置。
跨地点低温生物样品转移
便携式低温/UHV 转运箱与标准化对接接口结合，支持不同仪器和地点之间的受控转移，降低污染与温度不稳定风险。
从需求到系统
OPKI 与实验室、研究中心和仪器制造商协作，围绕样品、仪器接口、工艺步骤和自动化需求设计定制系统。
WeChat · OPKI
扫描二维码，通过微信联系 OPKI。
