진공 시스템.
통합 제어.
OPKI는 연구 및 반도체 관련 응용 분야를 위한 모듈형 고진공·초고진공 시스템을 설계하는 프랑스 엔지니어링 기업입니다. 시료 이송, 준비, 보관 및 장비 제어를 하나의 통합 작업 흐름으로 연결합니다.
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진공 체인 전체를 위한 설계
2024년에 설립된 OPKI는 이송 모듈, 도킹 인터페이스 및 제어된 진공 환경을 연결하는 시스템을 자체 개발합니다. 기계 구조, 전용 전자 장치와 제어 소프트웨어를 함께 설계하여 신뢰성, 일관성 및 장기적인 확장성을 확보합니다.
이송 로드, 진공 챔버, 로드록, 도킹 인터페이스, 히터와 매니퓰레이터를 연구실의 요구에 맞게 구성합니다. 각 모듈은 독립적으로 작동하면서도 연속적인 진공 시스템을 구성하여 장비 간 시료 취급과 정밀 위치 제어를 지원합니다.
시료 이송 및 보관
전동 이송 로드
진공 상태에서 제어 가능하고 반복성 있는 프로그래밍 방식의 시료 이송을 제공합니다.
시료 보관 시스템
진공 또는 UHV 환경에서 여러 Flag/Omicron형 시료 홀더를 보관하고 위치를 조정합니다. 수동 및 전동 버전이 있으며 전동 버전은 OPKI 제어 시스템에 기본 통합됩니다. 연결된 모듈은 이송 케이스 상태와 시료 위치 등의 데이터를 지속적으로 교환합니다.
OPKI 로드록
주 UHV 챔버를 벤팅하지 않고 시료를 넣거나 꺼낼 수 있습니다. 시료를 장착할 때 중간 챔버만 벤팅하고, 이후 진공 배기한 뒤 주 시스템에 연결합니다.
진공 이송 케이스
진공(UHV 호환) 또는 불활성 분위기에서 시료를 운반하고 임시 보관하는 밀폐형 휴대 장치입니다. 산화 및 입자 오염을 방지합니다. 선택 사양인 준비 모듈을 통합하면 이송 전에 케이스 내부에서 시료를 준비할 수 있습니다.
OPKI ONE: 제어와 자동화
하나의 시스템, 하나의 인터페이스
호환 장비를 통합 인터페이스에서 연결하고 공정을 구성하며 맞춤형 대시보드로 시스템을 모니터링합니다. 수동 모드에서 통합 장비가 지원하는 명령을 실행하고 그래프로 작업을 확인할 수 있습니다.
그래픽 시퀀스 편집기
Action(동작), Wait(대기), Condition(조건) 블록으로 순서도를 구성합니다. 여러 장비의 동작을 조합하고 다중 매개변수 조건을 정의하며, 시퀀스 내에서 간단한 조절 기능을 구현하고 실행 중 그래프를 표시할 수 있습니다.
사용자별 시스템 화면에 장비 이미지나 2D 도면을 삽입하고 값 타일을 자유롭게 배치합니다. 압력, 온도 등 사용 가능한 값을 표시하고 현재 시퀀스, 진행 상황 및 보고된 문제를 확인합니다.
연구를 위한 응용 사례
시료 준비, 표면 분석, 현미경 기술 및 반도체 연구. PVD(물리 기상 증착)와 열 증발 관련 공정은 프로젝트 요구에 따라 호환 가능한 준비·이송·제어 구성을 검토합니다.
금속학 시료 준비 자동화
이동형 UHV 플랫폼에 배기, 이온 밀링, 가열 및 현미경으로의 직접 이송을 통합하여 현미경 분석 전 수동 준비에 따른 편차와 작업 시간을 줄입니다.
빠른 UHV 시료 교환
XPS와 같은 분석 시스템에서 독립 배기식 이중 로드록과 자동 이송 구조를 통해 시료 교환 시 가동 중단을 줄일 수 있습니다. 원문 응용 사례의 교환 시간은 약 20분이며 실제 결과는 시스템과 공정 구성에 따라 달라집니다.
여러 장소 간 바이오·극저온 이송
휴대형 극저온/UHV 이송 케이스와 표준화 도킹 인터페이스를 결합하여 서로 다른 장비와 장소 사이에서 제어된 이송을 지원하고 오염 및 온도 불안정 위험을 줄입니다.
요구 사항에서 시스템까지
OPKI는 연구실, 연구 기관 및 장비 제조사와 협력하여 시료, 장비 인터페이스, 공정 단계와 자동화 요구에 맞는 시스템을 설계합니다.
함께 시스템을 설계합니다.
시료 종류, 기존 장비 및 공정 요구 사항을 알려주십시오. 적합한 진공 구조, 이송 인터페이스와 제어 구성을 함께 검토하겠습니다.
+33 6 71 33 40 31
Gardanne, France
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